重量物の位置決め方法及び該方法に用いる空気浮上式位置決め装置

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	関連データ明細書特許コードP08A013693発明の名称重量物の位置決め方法及び該方法に用いる空気浮上式位置決め装置整理番号20366データ収録日2008年8月22日出願番号特願2005-232416公開番号特開2007-045586出願日平成１７年８月１０日（２００５．８．１０）公開日平成１９年２月２２日（２００７．２．２２）発明者新竹積稲垣隆宏渡川和晃出願人独立行政法人理化学研究所発明の概要【課題】重量物を安定した状態で浮上させて所定の位置に高精度に位置決めし配置するための位置決め方法及び該方法に用いるエアーパッドを提供すること。【…

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